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                產(chǎn)品中心

                聯(lián)系方式
                地址:河北省秦皇島市海港區(qū)文化路街道海陽路159-1號博川大廈4層
                郵編:066000
                電話:400-168-2626
                傳真:0335-8062661
                E-mail:[email protected]
                網(wǎng)址:deenvisual.cn
                產(chǎn)品分類

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                AALBORG氣體質(zhì)量流量計

                產(chǎn)品特點:性價比高、響應速度快、可靠性高,易于集成、環(huán)路保護、備總量計數(shù)器

                典型應用:CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。

                設計特點:
                -剛性金屬結構
                -流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm 
                -*大壓力500psig(34.5Bar)
                -泄漏率1*10-7氦氣
                -NIST系統(tǒng)標定可追蹤的證明
                -可傾斜的LCD讀表
                -0-5Vdc或4-20mA信號輸出
                -電路保護
                -可用作便攜式的設備
                -0到100比例顯示
                -可配備流量計算機
                精度:±1.5%滿量程,包括59℉到77℉的氣體溫度(15℃到25℃)和5到60psia(0.4到4.1bar)的壓力??蛇x±1%滿量程(標定精度),在給定的溫度與壓力值條件下。
                重復性:±0.5%滿量程


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